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无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍

无尘室又称洁净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个无尘室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用大颗粒大小来厘定的。别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是无尘室中的灰尘。

无尘的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。无尘室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。

无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍

美国标准

级别 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1 µm 5 µm
1 35 7 3 1
10 350 75 30 10 1
100 3500 750 300 100 10 1
1,000 1,000 100 7
10,000 10,000 1,000 100
100,000 100,000 10,000 1,000
美国标准

ISO 14644-1标准

级别 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1 µm 5 µm
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1,000 237 102 35 8
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO 7 352,000 83,200 2,930
ISO 8 3,520,000 832,000 29,300
ISO 9 35,200,000 8,320,000 293,000
ISO 14644-1标准

无尘室标准比较表

ISO 14644-1 美国每立方呎颗粒数
ISO 3 1
ISO 4 10
ISO 5 100
ISO 6 1,000
ISO 7 10,000
ISO 8 100,000
无尘室标准比较表

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